MCS100 型號是一款緊湊且快速響應的質量流量傳感器，采用原始 MEMS 傳感器技術制造，出貨量達數百萬。

        通過結合熱MEMS傳感器和低壓損失流路，該流量傳感器可以測量10L/min以下的空氣、氮氣和氧氣*流量，具有5ms的快速響應，還可以檢測流向或微小的流量變化。

        * 使用氧氣的流體條件：供給壓力 50 kPa 或更低，濃度 95% 或更低。

• 可根據氣體的標準條件（20℃，1 atm）測量質量流量，無需溫度和壓力補償。

• 體積小，重量輕，可安裝在任何地方，適用于實驗室和各種工業(yè)應用中的各種流量測量。
  （33.5 x 10.5 x 17.0 毫米，僅 9 克，不含電纜）

• 快速響應時間：5ms

• 雙向流量范圍

• 低功耗：較大12mA 在 24Vdc

• 自由安裝位置，不需要直管長度

測量流量范圍陣容

• 單向流量范圍

MCS100A104 : 0 到 3L/min
MCS100A112 : 0 到+500mL/min
MCS100A116 : 0 到 5L/min
MCS100A120 : 0 到 10L/min

• 雙向流量范圍

MCS100A100 : -3 到 +3 L/min
MCS100A108 : -500 到 +500mL/min
MCS100A128 : -10 到 +10L/min

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