橡膠密封熱式質(zhì)量流量計4800系列
響應(yīng)速度是 4800 系列的主要優(yōu)勢:該產(chǎn)品將基于 MEMS 的高級熱傳感器與獨有的 PID 算法相結(jié)合以優(yōu)化控制閥的響應(yīng)速度,因此使4800 系列控制器能夠根據(jù)設(shè)定值變化快速匹配實際的流量。
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響應(yīng)速度是 4800 系列的主要優(yōu)勢:該產(chǎn)品將基于 MEMS 的高級熱傳感器與獨有的 PID 算法相結(jié)合以優(yōu)化控制閥的響應(yīng)速度,因此使4800 系列控制器能夠根據(jù)設(shè)定值變化快速匹配實際的流量。
橡膠密封熱式質(zhì)量流量計4800 系列
經(jīng)驗證具有極高靈活性,能夠滿足各種質(zhì)量流量測量需求。
布魯克斯儀器的橡膠密封質(zhì)量流量計和控制器將工藝所需的準確性、可靠性和可重復性相結(jié)合,是一種能夠為您提供高精度性能和長期穩(wěn)定性并且經(jīng)濟有效的測量儀器。結(jié)果:使運營投資價值和回報最大化。
關(guān)鍵應(yīng)用
化學品與石化分析和試驗過程
實驗室和分析系統(tǒng)
生命科學實驗室
薄膜氣相沉積
熱處理、切割等其他熱過程
真空應(yīng)用
選擇最適合自身工藝需求的質(zhì)量流量設(shè)備。
響應(yīng)時間極快,適用于對時間要求嚴格的工藝
型號 4850 / 4860
熱式質(zhì)量流量計和控制器的響應(yīng)速度越快,工藝就越高效,生產(chǎn)效率越高。響應(yīng)速度是 4800 系列的主要優(yōu)勢:該產(chǎn)品將基于 MEMS 的高級熱傳感器與獨有的 PID 算法相結(jié)合以優(yōu)化控制閥的響應(yīng)速度,因此使4800 系列控制器能夠根據(jù)設(shè)定值變化快速匹配實際的流量。本地操作界面 (LOI) 的選項能便于用戶對設(shè)備進行查看、控制和配置,無需遠程二次儀表。
特點
流量響應(yīng)時間(完成時間)<0.75 s
創(chuàng)新型 MEMS 傳感器和獨有的 PID 算法
尺寸小巧,不足常規(guī)熱式MFC的 一半:1'' x 3''x 4'' (25 mm x 76 mm x 101 mm)
本地操作界面 (LOI) 選項可簡化設(shè)置和操作;免費提供 LabVIEW VI 下載以進行設(shè)備監(jiān)測和調(diào)零
通過 RS-232 實現(xiàn)數(shù)字化功能
優(yōu)勢
非常適用于各種常見的無腐蝕性氣體
響應(yīng)速度快,可在切換工藝配方時確保各步驟的迅速完成
非常適用于各 OEM:尺寸小巧,可輕松集成至緊湊的設(shè)備空間內(nèi)并有助于加快安裝
可選本地操作界面 (LOI) 是本地指示、設(shè)定值控制和設(shè)備配置的一站式解決方案;無需借助遠程二次儀表
擁有多種通信方式,可輕松滿足用戶需求
應(yīng)用
熱處理、切割/焊接等其他熱式工藝
太陽能/薄膜物理氣相沉積 (PVD) 系統(tǒng)
用于測量和控制反應(yīng)物、校準和樣品氣體流量的分析設(shè)備
型號
規(guī)格
性能
等級
機械
診斷和顯示
電氣
附加設(shè)備
承諾