電容壓力計(jì)CMC 系列

        先進(jìn)的壓力計(jì)技術(shù)可為您提供持久的測量精度保障

        每種真空室工藝均需要精確的 Torr 水平保障以維持目標(biāo)過程效率。布魯克斯儀器的電容壓力計(jì)采用行業(yè)領(lǐng)先的高級傳感器設(shè)計(jì)，能夠提升測量可靠性、最大限度減少漂移、耐隔膜污染并能夠使熱效應(yīng)最小化并且由于布魯克斯電容壓力計(jì)產(chǎn)品均為全數(shù)字化設(shè)備，因此在寬動(dòng)態(tài)范圍內(nèi)具有極高的精度。結(jié)果表明布魯克斯電容壓力計(jì)系列產(chǎn)品非?？煽?，適用于各種真空度測量應(yīng)用。

關(guān)鍵應(yīng)用

• 超導(dǎo)體制造

• 薄膜沉積工藝 – 玻璃、網(wǎng)格和光學(xué)涂層

• 凍干易腐材料

• 適用于醫(yī)療儀器的高科技涂層（手術(shù)儀器、牙鉆等）

選擇最適合自身項(xiàng)目要求的電容壓力計(jì)。

經(jīng)認(rèn)證的緊湊型非加熱式計(jì)量儀表，可提供經(jīng)濟(jì)有效的真空度測量

        布魯克斯儀器的 CMC 系列電容壓力計(jì)能夠在各種工作溫度范圍下可靠、準(zhǔn)確地進(jìn)行真空度測量，是經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的優(yōu)質(zhì)大型非加熱式計(jì)量儀表替代產(chǎn)品。該產(chǎn)品采用緊湊型設(shè)計(jì)并具有經(jīng)認(rèn)證的性能，非常適用于因需要減少儀表占用空間而對現(xiàn)有測量工具進(jìn)行升級的客戶。

        產(chǎn)品采用全接液設(shè)計(jì)和 Iconel? 接液表面技術(shù)，即使在最激烈的過程條件下也可確保實(shí)現(xiàn)可靠的可重復(fù)操作。布魯克斯儀器將精密組件和寬溫度補(bǔ)償工作范圍相結(jié)合提供了一流的零點(diǎn)性能和跨溫度系數(shù)從而能夠確保最佳測量穩(wěn)定性。

特點(diǎn)

• 適用于 10 Torr - 1000 Torr 過程真空度范圍

• 有兩種精度水平可供選擇：讀數(shù)的 0.25% 或 0.50%（可選）

• 在各種工作溫度下均具有出色的性能

• 相較于傳統(tǒng)非加熱式電容壓力計(jì)體積小 40%

• 全焊接結(jié)構(gòu)和 Inconel? 接液表面

優(yōu)勢

• 可選擇具有高精度校準(zhǔn)功能的選件以滿足昂貴的優(yōu)質(zhì)非加熱式壓力計(jì)對精度的要求

• 一流的零點(diǎn)性能和跨溫度系數(shù)

• 節(jié)省空間的設(shè)計(jì)有助于器件適配有限的設(shè)備空間

• 相較于易于發(fā)生故障（包括內(nèi)部應(yīng)力）的其他設(shè)計(jì)，擁有最佳的測量結(jié)果重現(xiàn)性

應(yīng)用

• 超導(dǎo)體制造

• 薄膜沉積工藝 – 玻璃、網(wǎng)格和光學(xué)涂層

• 凍干易腐材料

• 適用于醫(yī)療儀器的高科技涂層（手術(shù)儀器、牙鉆等）

型號

規(guī)格

性能

機(jī)械

電氣

認(rèn)證和批準(zhǔn)