金屬密封壓力控制器SLA7840
布魯克斯 SLA7840 型設(shè)備為高純度金屬密封儀器,可同時(shí)控制壓力并測(cè)量流速。遠(yuǎn)程壓力傳感器信號(hào)輔以可調(diào)節(jié)積分 PID 控制元件和共面控制閥可將壓力維持在目標(biāo)值。
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布魯克斯 SLA7840 型設(shè)備為高純度金屬密封儀器,可同時(shí)控制壓力并測(cè)量流速。遠(yuǎn)程壓力傳感器信號(hào)輔以可調(diào)節(jié)積分 PID 控制元件和共面控制閥可將壓力維持在目標(biāo)值。
金屬密封壓力控制器SLA7840
穩(wěn)定的壓力控制以及更高的過(guò)程氣體純度,最大限度優(yōu)化處理效果
布魯克斯儀器的金屬密封壓力控制器的設(shè)計(jì)特點(diǎn)是經(jīng)久耐用,同時(shí)還具備持久和得到認(rèn)可的準(zhǔn)確性,全球液體測(cè)量和控制領(lǐng)域的領(lǐng)軍企業(yè)用戶均信賴布魯克斯。我們的電子壓力控制器將核心控制技術(shù)用于自身業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的熱質(zhì)量流量控制器。
電子壓力控制器不存在傳統(tǒng)機(jī)械彈簧式隔膜壓力調(diào)節(jié)器所導(dǎo)致的衰減和滯后問(wèn)題。同時(shí),選擇金屬密封壓力控制器可提高氣體純度,原因是此類控制器不使用會(huì)發(fā)生氧滲透的彈性體,并且金屬密封件能夠減少維護(hù)次數(shù)可無(wú)限期使用。
另外還提供帶有內(nèi)部壓力傳感器的布魯克斯壓力控制器以在 torr 級(jí)至 500 psig 范圍內(nèi)進(jìn)行壓力控制。結(jié)果:能夠始終確保關(guān)鍵半導(dǎo)體工藝準(zhǔn)確執(zhí)行并得到最嚴(yán)格控制的壓力控制器。
關(guān)鍵應(yīng)用
硅材料半導(dǎo)體器件制造工藝 – 蝕刻、剝膜、CVD、ALD、PVD、Epi、擴(kuò)散、植入和 RTP
化合物半導(dǎo)體器件加工工藝 – MOCVD
設(shè)計(jì)精密的表面涂層
分析系統(tǒng)
真空處理應(yīng)用
選擇最適合自身項(xiàng)目要求的壓力控制設(shè)備。
高純度流路,極高的可重現(xiàn)性、穩(wěn)定性和響應(yīng)速度
型號(hào) SLA7840
布魯克斯 SLA7840 型設(shè)備為高純度金屬密封儀器,可同時(shí)控制壓力并測(cè)量流速。遠(yuǎn)程壓力傳感器信號(hào)輔以可調(diào)節(jié)積分 PID 控制元件和共面控制閥可將壓力維持在目標(biāo)值。相較于其他金屬密封控制器,共面閥可降低壓力變化產(chǎn)生的影響并降低泄漏速度,從而使設(shè)備在長(zhǎng)時(shí)間使用的條件下更加穩(wěn)定。
特點(diǎn)
一體化壓力傳感器
響應(yīng)時(shí)間:<1 秒
流量測(cè)量范圍寬,滿量程流速測(cè)量范圍可達(dá) 0 - 3 sccm 至 0 – 30,000 sccm
最大壓力為 500 psig
全金屬密封流路:最高達(dá) 32μ 英寸的 Ra 表面處理
共面閥可降低泄漏速度
多氣體/多量程功能可存儲(chǔ)并與設(shè)定多達(dá) 10 種氣體校準(zhǔn)信息并且僅需一臺(tái)設(shè)備即可實(shí)現(xiàn)
DeviceNet? 和模擬通信選件
優(yōu)勢(shì)
共面閥控制范圍的提升可降低過(guò)程壓力變化所產(chǎn)生的影,響從而使設(shè)備在長(zhǎng)時(shí)間使用時(shí)更加穩(wěn)定。
全金屬接液流路可使工藝條件不受顆粒物、水汽和污染物影響
設(shè)備還可配置為質(zhì)量流量控制器以用于校準(zhǔn)或測(cè)試
多氣體/多量程功能可減少庫(kù)存
共面閥可擴(kuò)大控制范圍從而減少過(guò)程控制所需部件數(shù)量
封裝結(jié)構(gòu)緊湊,節(jié)省空間,容易改裝
數(shù)字通信便于調(diào)試,能減少系統(tǒng)布線
型號(hào)
規(guī)格
性能
等級(jí)
機(jī)械
電氣