質(zhì)量流量計VG-200S
絕對壓力測量對于半導體、FPD、HDD、PV 和涂層等各個行業(yè)的大多數(shù)真空過程至關(guān)重要。當壓力差施加到隔膜的兩側(cè)時，電容壓力計確定隔膜變形產(chǎn)生的總壓力。
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絕對壓力測量對于半導體、FPD、HDD、PV 和涂層等各個行業(yè)的大多數(shù)真空過程至關(guān)重要。當壓力差施加到隔膜的兩側(cè)時，電容壓力計確定隔膜變形產(chǎn)生的總壓力。
絕對壓力測量對于半導體、FPD、HDD、PV 和涂層等各個行業(yè)的大多數(shù)真空過程至關(guān)重要。當壓力差施加到隔膜的兩側(cè)時，電容壓力計確定隔膜變形產(chǎn)生的總壓力。與其他方法相比，電容壓力計的優(yōu)點是：
?更高的精度
?壓力輸出對氣體的依賴性更小
?相對耐腐蝕性氣體
特征
緊湊的自加熱設計
獨創(chuàng)信號處理方式，精準測量
SUS316L隔膜
可選擇溫度控制（55、100°C）或非加熱型
一鍵歸零
電源要求 +/-15VDC 或 24VDC
符合 CE 和 RoHS 標準
規(guī)格
| 模型 | VG-211S | VG-221S | ||
| 滿量程測量范圍 | 133.32 帕（安） | 1.3332kPa(A)、13.332kPa(A)、133.32kPa(A) | 133.32Pa（安） | 1.3332kPa(A)、13.332kPa(A)、133.32kPa(A) |
| 傳感器溫度*1 | 大使。(25℃) | 55℃ / 100℃ | ||
| 精度*2 | 0.5% RS | 0.25% RS | 0.5% RS | 0.25% RS |
| 解析度 | 0.03% 滿量程 | 0.01% 滿量程 | 0.03% 滿量程 | 0.01% 滿量程 |
| 零溫度系數(shù) | 0.01%滿量程/°C | 0.005%滿量程/°C | 0.005%滿量程/°C | 0.0025%滿量程/°C |
| 量程溫度系數(shù) | 0.05% RS/°C | 0.03% RS/°C | 0.03% RS /°C | 0.02% RS /°C |
| 響應時間 | < 60 毫秒 | |||
| 工作溫度*3 | 10-50℃ | |||
| 接液材料 | SUS316L | |||
| 加壓極限 | 300kPA (A) | 350kPa (A) | 300kPa(A) | 350kPa (A) |
| 輸出信號 | 0-10VDC 負載電阻：10kΩ以上 | |||
| 輸入/輸出連接器 | D-Sub 15pin | |||
| 電源電壓 | +15VDC±5％、0.1A max. -15VDC±5％、0.1A max | +15VDC±5%, 0.6Amax. -15VDC±5%, 0.6Amax. | ||
| 24VDC±5%，最大 2.4W | 24VDC±5%, 最大 22W | |||
| 熱身時間 | 15分鐘 | 60分鐘（55℃溫控型） 120分鐘（100℃溫控型） | ||
| 集電極開路輸出 | 額定電壓：30V 額定電流：50mA | |||
| 歸零輸入 *4 | 現(xiàn)電壓接點輸入 接點開路電壓：13V 最大接點電流：1.3mA | |||
| 標準配件*5 | KF16，1/2 英寸 VCR 母頭，ICF34，1/4 英寸 VCR 母頭 | |||
*1 傳感器溫度標示在銘牌上。訂貨時請注明傳感器溫度。
*2 包括線性、遲滯和重復性。（環(huán)境溫度25°C）
*3 在規(guī)定的環(huán)境條件下，當產(chǎn)品周圍有熱源或某些產(chǎn)品緊密排列時，環(huán)境溫度可能會超過規(guī)定的環(huán)境溫度。
*4 零點可調(diào)范圍為±5%。
*5 請在訂購時指定配件。
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