質量流量控制器FS-3000
FS-3000 結合了 HORIBA STEC 的質量流量控制器 (MFC) 和 MuCube（主控制器）。通過從搭載了HORIBA STEC專有控制算法的MuCube控制MFC，FS-3000實現了穩(wěn)定的分離控制。
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FS-3000 結合了 HORIBA STEC 的質量流量控制器 (MFC) 和 MuCube（主控制器）。通過從搭載了HORIBA STEC專有控制算法的MuCube控制MFC，FS-3000實現了穩(wěn)定的分離控制。
FS-3000 結合了 HORIBA STEC 的質量流量控制器 (MFC) 和 MuCube（主控制器）。通過從搭載了HORIBA STEC專有控制算法的MuCube控制MFC，FS-3000實現了穩(wěn)定的分離控制。
特征
該控制算法通過控制流量比實現穩(wěn)定的流量分流控制，同時利用HORIBA STEC獨創(chuàng)的控制優(yōu)化技術控制FS-3000上游壓力。此外，即使分流比發(fā)生變化，控制算法也可實現對流量分流的高速響應。
提高可擴展性、維護性能 FS-3000 通過高速信號處理支持拆分多達 15 個流道。當 MFC 發(fā)生故障時，FS-3000 只需更換故障的從機即可修復。
對所需規(guī)格的靈活響應 FS-3000 支持多種氣體，包括混合氣體。此外，FS-3000 支持 RS-485、DeviceNet 作為用戶接口。
規(guī)格
| 頻道 | 2-15頻道 | 工作溫度 | 5-50°C（推薦范圍：15-45°C） |
| 引入流量 | 取決于渠道和引入流量 | 耐壓 | 1000千帕（克） |
| 比例設定范圍 | 取決于渠道和引入流量 | 安裝方向 | 自由的 |
| 供給壓力狀況 | 取決于渠道和引入流量 | 控制界面 | RS-485、DeviceNetTM |
| 閥門類型 | O：常開 C：常閉 | 電源 | Master, Slave DC24V （符合ODVA標準） |
| 回復 * | 取決于渠道和引入流量 |
*各通道的響應時間以本產品流量輸出達到流量設定變化量的98%時的響應時間計算。最慢的響應時間是分流器的響應時間。
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