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TESCOM 12系列減壓閥
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TESCOM? 12系列無彈簧調(diào)壓器

12 系列是一種微型超高純度工業(yè)氣體 (IGS)/VCR? 減壓型調(diào)壓器。 12 系列提供 5 Ra 或 10 Ra 微英寸的光潔度,采用束縛閥膜以及內(nèi)部無彈簧和無螺紋的設(shè)計(jì)。

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TESCOM? 12 系列無彈簧無螺紋調(diào)壓器

 

        12 系列是一種微型超高純度工業(yè)氣體 (IGS)/VCR? 減壓型調(diào)壓器。 12 系列提供 5 Ra 或 10 Ra 微英寸的光潔度,采用束縛閥膜以及內(nèi)部無彈簧和無螺紋的設(shè)計(jì)。 進(jìn)口壓力為 150 psig / 10.3 bar,出口壓力為 250 mm Hg-15、30、60、100 psig / 250 mm Hg-1.0、2.1、4.1、6.9 bar,流速可達(dá) 120 SLPM。 非常適合用于 OEM 工具、氣箱和低壓氣瓶柜。

 

規(guī)格

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特點(diǎn)

  • 適用于高級(jí) OEM 氣體系統(tǒng)的理想產(chǎn)品

  • 高靈敏度壓力控制增強(qiáng)質(zhì)量流量控制器 (MFC) 性能

  • 適用范圍廣,性能優(yōu)越

  • 流量:2 SCFM 至 120 SLPM

  • 在微型元件中提供卓越的壓降和重復(fù)性

  • 閥膜與閥體之間采用金屬對(duì)金屬密封,提供一流的密封性

  • 內(nèi)部表面光潔度為 10 Ra 或 5 Ra 微英寸

  • 符合 SEMI F19 和 SEMI 模塊化接口規(guī)格


需要咨詢產(chǎn)品價(jià)格、貨期、購(gòu)買產(chǎn)品、技術(shù)參數(shù)規(guī)格索取、技術(shù)及產(chǎn)品調(diào)試咨詢、商務(wù)合作請(qǐng)聯(lián)系我們??头峋€:022-22118860

 


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