高溫?zé)崾劫|(zhì)量流量控制器9861 系列

可滿足高溫苛刻條件應(yīng)用需求的高純度流路

        現(xiàn)今許多高級(jí)電子元器件的加工工藝都需要能夠?qū)Π嘿F的超純氣體和液態(tài)前體進(jìn)行相當(dāng)準(zhǔn)確并且具有高度可重現(xiàn)性的測(cè)定和控制。因此，布魯克斯儀器推出了自家的高溫金屬封裝熱質(zhì)量流量控制器和儀表來(lái)滿足上述需求。該產(chǎn)品將穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性超高的測(cè)量傳感器與快速、精準(zhǔn)的控制閥以及功能強(qiáng)大的電子元件相結(jié)合共同實(shí)現(xiàn)了精準(zhǔn)的化學(xué)品控制。高完整性（無(wú)泄漏）的超高純度全金屬流路可確保過(guò)程化學(xué)品純度，該流路專為防止外部污染（如濕氣和氧氣）腐蝕過(guò)程媒介而設(shè)計(jì)。

關(guān)鍵應(yīng)用

• 光纖制造 - MCVD

• 硅材料半導(dǎo)體器件加工工藝

1. CVD（蒸汽形式的前體輸送）

2. 剝落（水蒸氣）

3. 腐蝕（水蒸氣鈍化）

提升高溫流量控制的準(zhǔn)確性和效率

        布魯克斯儀器 9861 系列高溫?zé)豳|(zhì)量流量控制器和儀表專為在高溫相關(guān)苛刻條件下輸送可冷凝前體和摻雜劑設(shè)計(jì)，該產(chǎn)品采用高純度、無(wú)泄漏一體化金屬流路，可確保兼容所有過(guò)程氣體和蒸汽。獲得專利的 IsoSensor? 是一種穩(wěn)定性極高的流量傳感器，可兼容加熱氣體管線和烘干系統(tǒng)中苛刻的環(huán)境溫度。IsoSensor? 傳感器的超低漂移性能可使高溫應(yīng)用無(wú)需頻繁重新調(diào)零和重新校準(zhǔn)。

特點(diǎn)

• 超穩(wěn)定的 IsoSensor? 流量測(cè)量專利傳感器

• 高純度流路

• 遠(yuǎn)程控制電子元件（標(biāo)配兩個(gè)模擬電子連接器）

• 數(shù)字測(cè)量和控制架構(gòu)

優(yōu)勢(shì)

• 傳感器穩(wěn)定性高，可保障超長(zhǎng)運(yùn)行時(shí)間、減少維護(hù)工作并降低總體擁有成本

• 全金屬接液流路可確保氣體/蒸汽完整性和純度

• 包括 20 引腳卡緣連接器和 9/15 引腳“D”連接器，可實(shí)現(xiàn)標(biāo)準(zhǔn)化并減少庫(kù)存

• 強(qiáng)化準(zhǔn)確性和過(guò)程控制

應(yīng)用

• 光纖制造 - MCVD

• 硅材料半導(dǎo)體器件加工工藝

型號(hào)

規(guī)格

性能

機(jī)械

等級(jí)

電氣