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brooks高溫?zé)崾劫|(zhì)量流量控制器
brooks高溫?zé)崾劫|(zhì)量流量控制器

高溫?zé)崾劫|(zhì)量流量控制器9861系列

布魯克斯儀器 9861 系列高溫?zé)豳|(zhì)量流量控制器和儀表專為在高溫相關(guān)苛刻條件下輸送可冷凝前體和摻雜劑設(shè)計(jì),該產(chǎn)品采用高純度、無(wú)泄漏一體化金屬流路,可確保兼容所有過(guò)程氣體和蒸汽。

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產(chǎn)品詳情

高溫?zé)崾劫|(zhì)量流量控制器9861 系列

 

可滿足高溫苛刻條件應(yīng)用需求的高純度流路


        現(xiàn)今許多高級(jí)電子元器件的加工工藝都需要能夠?qū)Π嘿F的超純氣體和液態(tài)前體進(jìn)行相當(dāng)準(zhǔn)確并且具有高度可重現(xiàn)性的測(cè)定和控制。因此,布魯克斯儀器推出了自家的高溫金屬封裝熱質(zhì)量流量控制器和儀表來(lái)滿足上述需求。該產(chǎn)品將穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性超高的測(cè)量傳感器與快速、精準(zhǔn)的控制閥以及功能強(qiáng)大的電子元件相結(jié)合共同實(shí)現(xiàn)了精準(zhǔn)的化學(xué)品控制。高完整性(無(wú)泄漏)的超高純度全金屬流路可確保過(guò)程化學(xué)品純度,該流路專為防止外部污染(如濕氣和氧氣)腐蝕過(guò)程媒介而設(shè)計(jì)。


關(guān)鍵應(yīng)用

  • 光纖制造 - MCVD

  • 硅材料半導(dǎo)體器件加工工藝

  1. CVD(蒸汽形式的前體輸送)

  2. 剝落(水蒸氣)

  3. 腐蝕(水蒸氣鈍化)

 

提升高溫流量控制的準(zhǔn)確性和效率


        布魯克斯儀器 9861 系列高溫?zé)豳|(zhì)量流量控制器和儀表專為在高溫相關(guān)苛刻條件下輸送可冷凝前體和摻雜劑設(shè)計(jì),該產(chǎn)品采用高純度、無(wú)泄漏一體化金屬流路,可確保兼容所有過(guò)程氣體和蒸汽。獲得專利的 IsoSensor? 是一種穩(wěn)定性極高的流量傳感器,可兼容加熱氣體管線和烘干系統(tǒng)中苛刻的環(huán)境溫度。IsoSensor? 傳感器的超低漂移性能可使高溫應(yīng)用無(wú)需頻繁重新調(diào)零和重新校準(zhǔn)。

 

特點(diǎn)

  • 超穩(wěn)定的 IsoSensor? 流量測(cè)量專利傳感器

  • 高純度流路

  • 遠(yuǎn)程控制電子元件(標(biāo)配兩個(gè)模擬電子連接器)

  • 數(shù)字測(cè)量和控制架構(gòu)


優(yōu)勢(shì)

  • 傳感器穩(wěn)定性高,可保障超長(zhǎng)運(yùn)行時(shí)間、減少維護(hù)工作并降低總體擁有成本

  • 全金屬接液流路可確保氣體/蒸汽完整性和純度

  • 包括 20 引腳卡緣連接器和 9/15 引腳“D”連接器,可實(shí)現(xiàn)標(biāo)準(zhǔn)化并減少庫(kù)存

  • 強(qiáng)化準(zhǔn)確性和過(guò)程控制


應(yīng)用

  • 光纖制造 - MCVD

  • 硅材料半導(dǎo)體器件加工工藝

 

型號(hào)

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規(guī)格

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性能

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機(jī)械

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等級(jí)

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電氣

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