高溫質(zhì)量流量控制計5850EMH系列

可滿足高溫苛刻條件應(yīng)用需求的高純度流路

        現(xiàn)今許多高級電子元器件的加工工藝都需要能夠?qū)Π嘿F的超純氣體和液態(tài)前體進行相當準確并且具有高度可重現(xiàn)性的測定和控制。因此，布魯克斯儀器推出了自家的高溫金屬封裝熱質(zhì)量流量控制器和儀表來滿足上述需求。該產(chǎn)品將穩(wěn)定性和準確性超高的測量傳感器與快速、精準的控制閥以及功能強大的電子元件相結(jié)合共同實現(xiàn)了精準的化學(xué)品控制。高完整性（無泄漏）的超高純度全金屬流路可確保過程化學(xué)品純度，該流路專為防止外部污染（如濕氣和氧氣）腐蝕過程媒介而設(shè)計。

關(guān)鍵應(yīng)用

• 光纖制造 - MCVD

• 硅材料半導(dǎo)體器件加工工藝

1. CVD（蒸汽形式的前體輸送）

2. 剝落（水蒸氣）

3. 腐蝕（水蒸氣鈍化）

頁面副小標題 - 已被驗證的長期穩(wěn)定性，高溫應(yīng)用中超高純表現(xiàn)

型號 5850EMH / 5851EMH

        來自 Brooks Instrument 的 5850EMH 系列高溫金屬密封質(zhì)量流量控制器結(jié)合出色的金屬密封泄漏完整性，為高溫氣體測量和控制提供了最先進的性能，具有多種選擇，允許最大的應(yīng)用靈活性。5850EMH 系列的核心是高穩(wěn)定的傳感器，其提供與流速線性相關(guān)的電氣輸出信號。該信號用于指示、記錄和/或控制目的而無需自動歸零電路。

特點

• 高泄漏完整性（小于 10-11 Pa.m3/s (10-10 atm.cc/s) He）

• 寬流速范圍（0.003 - 100 slpm）

• 高純度 VAR 316L 不銹鋼

• 無磨粒

• 氦泄漏檢查端口

• 常閉閥（可選常開閥）

• 電致動閥復(fù)位

• 低命令流量斷流

• TTL 兼容"關(guān)閥"功能

優(yōu)勢

• 穩(wěn)定、可靠的產(chǎn)品平臺

• 高流量，高達 100 lpm（N2 當量）

• 全金屬流路提高氣體純度及減少泄漏

• 僅使用模擬輸入/輸出容易安裝和維修

應(yīng)用

• 光纖制造——MCVD，OVD，AVD

• 水汽流量控制

型號

規(guī)格

性能

機械

等級

電氣