金屬密封熱式質(zhì)量流量控制器GF80 系列

最高純度氣路。超高精確，無污染的控制。

        現(xiàn)今許多高級電子元器件的加工工藝都需要能夠?qū)Π嘿F的超純氣體和液態(tài)前體進行相當準確并且具有高度可重現(xiàn)性的測定和控制。因此，布魯克斯儀器推出了自家的革命性金屬密封熱質(zhì)量流量控制器和儀表來滿足上述需求。該產(chǎn)品將穩(wěn)定性和準確性超高的測量傳感器與快速、精準的控制閥以及功能強大的電子元件相結(jié)合共同實現(xiàn)了精準的化學(xué)品控制。高完整性（無泄漏）的超高純度全金屬流路可確保過程化學(xué)品純度，該流路專為防止外部污染（如濕氣和氧氣）腐蝕過程媒介而設(shè)計。

關(guān)鍵應(yīng)用

• 硅材料半導(dǎo)體器件制造工藝 – 蝕刻、剝膜、CVD、ALD、PVD、Epi、擴散、植入和 RTP

• 化合物半導(dǎo)體器件加工工藝 – MOCVD

• 精密的表面涂層

• 分析系統(tǒng)

• 真空處理應(yīng)用

選擇最適合自身工藝需求的質(zhì)量流量設(shè)備。

提升價值驅(qū)動型金屬密封應(yīng)用的性能標準

        對于許多工業(yè)和半導(dǎo)體加工過程，性能和成本效率同樣重要。GF80 系列金屬密封質(zhì)量流量控制器擁有以下兩個特點：設(shè)計采用與最暢銷的 GF100 系列響應(yīng)速度相同的傳感器以及第四代 MultiFlo? 專利技術(shù)，該產(chǎn)品絕對是高性價比運營的正確選擇。另外，金屬密封的 MFC 擁有 MultiFloTM 多氣體/多量程功能所帶來的全部優(yōu)勢，原因是可用氣體方面沒有限制并且由于不會發(fā)生彈性體氧滲透而提升了氣體純度，同時還由于金屬密封件有效期相當長而減少了維護工作量。

特點

• 長期零點穩(wěn)定性，每年變動小于滿量程的 ± 0.5%

• 1 秒內(nèi)穩(wěn)定

• 滿量程流速高達 300 slpm

• 全金屬密封流路 - 16μ 英寸 Ra 表面處理

• 耐腐蝕 Hastelloy? 傳感器可在較低溫度下工作，適用于易發(fā)生熱分解的氣體

• 可編程 MultiFloTM 功能 - 一臺設(shè)備即可滿足數(shù)千種氣體類型和各種量程組合的需求，無需從氣路上拆除 MFC 并且不影響精度

• 通過有源溫度補償實現(xiàn)的一流溫度系數(shù)規(guī)范

• 內(nèi)嵌式常規(guī)自檢功能和獨立的診斷/維護端口

• 帶有 VCR 配件的細線體設(shè)計

• DeviceNetTM、Profibus?、RS-485 和模擬接口

優(yōu)勢

• 1 秒完成流量穩(wěn)定，消除廢氣和過程變量影響

• 未采用會發(fā)生氧滲透并且使用一定時間之后需要進行更換的彈性體密封件

• MultiFloTM 精簡了過程氣體切換操作 — 無需再拆除并重新校準 MFC

• 60 秒內(nèi)即可完成新氣體和/或量程的設(shè)定操作

• 測量精度不受溫度變化影響

• 可輕松訪問診斷端口以實現(xiàn)運行時間最大化

• 規(guī)格緊湊，可輕松集成至緊張的設(shè)備空間內(nèi)；設(shè)備改型的絕佳選擇

• 多協(xié)議通信接口可簡化向現(xiàn)有系統(tǒng)的集成操作

應(yīng)用

• 對翻新后的半導(dǎo)體加工工具中的原有 MFC 進行經(jīng)濟高效的改型/升級

• 減少六英寸/八英寸半導(dǎo)體工廠的 MFC 庫存

• 用于 LED 和功率器件生產(chǎn)的 MOCVD

• 太陽能/薄膜化學(xué)氣相沉積 (CVD) 系統(tǒng)

• 分析用 OEM 設(shè)備

型號

規(guī)格

性能

機械

等級

診斷和顯示

電氣

承諾