密封熱式質(zhì)量流量控制器GF100系列
GF100 系列金屬密封質(zhì)量流量控制器和儀表性能:快速響應(yīng)和可重現(xiàn)的高純度/超高純度過程氣體輸送。專為半導(dǎo)體、MOCVD 等其他氣體流量控制應(yīng)用設(shè)計(jì),GF100 系列在可靠性方面優(yōu)于半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)水平,可確保測(cè)量結(jié)果可重現(xiàn)并且長(zhǎng)時(shí)間使用后性能依然高度穩(wěn)定。
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GF100 系列金屬密封質(zhì)量流量控制器和儀表性能:快速響應(yīng)和可重現(xiàn)的高純度/超高純度過程氣體輸送。專為半導(dǎo)體、MOCVD 等其他氣體流量控制應(yīng)用設(shè)計(jì),GF100 系列在可靠性方面優(yōu)于半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)水平,可確保測(cè)量結(jié)果可重現(xiàn)并且長(zhǎng)時(shí)間使用后性能依然高度穩(wěn)定。
金屬密封熱式質(zhì)量流量控制器GF100 系列
最高純度氣路。超高精確,無污染的控制。
現(xiàn)今許多高級(jí)電子元器件的加工工藝都需要能夠?qū)Π嘿F的超純氣體和液態(tài)前體進(jìn)行相當(dāng)準(zhǔn)確并且具有高度可重現(xiàn)性的測(cè)定和控制。因此,布魯克斯儀器推出了自家的革命性金屬密封熱質(zhì)量流量控制器和儀表來滿足上述需求。該產(chǎn)品將穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性超高的測(cè)量傳感器與快速、精準(zhǔn)的控制閥以及功能強(qiáng)大的電子元件相結(jié)合共同實(shí)現(xiàn)了精準(zhǔn)的化學(xué)品控制。高完整性(無泄漏)的超高純度全金屬流路可確保過程化學(xué)品純度,該流路專為防止外部污染(如濕氣和氧氣)腐蝕過程媒介而設(shè)計(jì)。
關(guān)鍵應(yīng)用
硅材料半導(dǎo)體器件制造工藝 – 蝕刻、剝膜、CVD、ALD、PVD、Epi、擴(kuò)散、植入和 RTP
化合物半導(dǎo)體器件加工工藝 – MOCVD
精密的表面涂層
分析系統(tǒng)
真空處理應(yīng)用
選擇最適合自身工藝需求的質(zhì)量流量設(shè)備。
高純度流路。出色的性能、可靠性和可重現(xiàn)性。
型號(hào) GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSL / GF120XSL / GF121 / GF125 / GF126
GF100 系列金屬密封質(zhì)量流量控制器和儀表性能:快速響應(yīng)和可重現(xiàn)的高純度/超高純度過程氣體輸送。專為半導(dǎo)體、MOCVD 等其他氣體流量控制應(yīng)用設(shè)計(jì),GF100 系列在可靠性方面優(yōu)于半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)水平,可確保測(cè)量結(jié)果可重現(xiàn)并且長(zhǎng)時(shí)間使用后性能依然高度穩(wěn)定。一臺(tái)采用標(biāo)準(zhǔn) MultiFlo? 技術(shù)的 MFC 即可滿足數(shù)千種氣體類型和各種量程組合的需求,無需從氣路上拆除 MFC 并且不影響精度。
結(jié)果:提高工藝靈活性和效率輔以業(yè)內(nèi)最高純度的過程氣體,有助于最大限度提高產(chǎn)率和生產(chǎn)效率。
型號(hào)
規(guī)格
性能
機(jī)械
等級(jí)
診斷和顯示
電氣
承諾