熱式質(zhì)量流量控制器GF100 系列EtherCAT

最高純度氣路。超高精確，無(wú)污染的控制。

        現(xiàn)今許多高級(jí)電子元器件的加工工藝都需要能夠?qū)Π嘿F的超純氣體和液態(tài)前體進(jìn)行相當(dāng)準(zhǔn)確并且具有高度可重現(xiàn)性的測(cè)定和控制。因此，布魯克斯儀器推出了自家的革命性金屬密封熱質(zhì)量流量控制器和儀表來(lái)滿足上述需求。該產(chǎn)品將穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性超高的測(cè)量傳感器與快速、精準(zhǔn)的控制閥以及功能強(qiáng)大的電子元件相結(jié)合共同實(shí)現(xiàn)了精準(zhǔn)的化學(xué)品控制。高完整性（無(wú)泄漏）的超高純度全金屬流路可確保過(guò)程化學(xué)品純度，該流路專為防止外部污染（如濕氣和氧氣）腐蝕過(guò)程媒介而設(shè)計(jì)。

關(guān)鍵應(yīng)用

• 硅材料半導(dǎo)體器件制造工藝 – 蝕刻、剝膜、CVD、ALD、PVD、Epi、擴(kuò)散、植入和 RTP

• 化合物半導(dǎo)體器件加工工藝 – MOCVD

• 精密的表面涂層

• 分析系統(tǒng)

• 真空處理應(yīng)用

選擇最適合自身工藝需求的質(zhì)量流量設(shè)備。

最快速、最精準(zhǔn)的MFC

加強(qiáng)了擁有EtherCAT?的速度

型號(hào) GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSD / GF120XSL / GF121 / GF125 / GF126

針對(duì)半導(dǎo)體工藝的完美性能

• 嵌入式診斷利用實(shí)時(shí)以太網(wǎng)數(shù)據(jù)采集能力

• 超穩(wěn)定流量傳感器（每年≤設(shè)定值0.15%的漂移）使低流量更精準(zhǔn)，同時(shí)減少維修的需求

• 改進(jìn)的閥門關(guān)閉（≤bin范圍的0.15%）減少閥門內(nèi)漏，從而改善第一片晶圓效應(yīng)

• 新增強(qiáng)的抗壓力瞬時(shí)波動(dòng)在持續(xù)流體傳輸中降低了串?dāng)_流敏感度

特點(diǎn)

• 每年<滿量程的±0.15%的長(zhǎng)期零點(diǎn)穩(wěn)定性

• 響應(yīng)穩(wěn)定時(shí)間: 300毫秒 - <1秒

• 最大流量可達(dá)到300 slpm

• 全金屬密封的流體通路：可選5μ 或 10μ inch Ra的表面粗糙度

• 抗腐蝕的哈氏合金升溫傳感器在溫度升高時(shí)改善了測(cè)量的重復(fù)性

• MultiFloTM 氣體和量程的可編程性—一臺(tái)表，幾千種氣體和量程的組合，無(wú)需把MFC從管路上拆除，也不會(huì)影響精度

• 方便的用戶顯示和獨(dú)立的診斷/服務(wù)端口可幫助儀表安裝，監(jiān)測(cè)和故障排查

• GF120 安全傳輸系統(tǒng)(SDS?)是布魯克斯最先進(jìn)的低壓降質(zhì)量流量控制計(jì)，用于離子注入和刻蝕工藝的負(fù)壓安全傳輸系統(tǒng)的氣體傳輸 

優(yōu)勢(shì)

• 超常的性能
  快速反應(yīng)時(shí)間改進(jìn)應(yīng)用效率
  

• 靈活的拓?fù)?/span>
  

       幾乎無(wú)限的網(wǎng)絡(luò)拓?fù)淇赡?/span>

• 簡(jiǎn)單、堅(jiān)固

        配置，診斷以及維護(hù)

• 負(fù)擔(dān)能力
  

        標(biāo)準(zhǔn)的以太網(wǎng)端口

應(yīng)用

• 半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備

• 薄膜化學(xué)氣相沉積系統(tǒng) (CVD, MOCVD, PECVD, ALD)

• 物理氣相沉積 (PVD) 系統(tǒng)

• 外延工藝系統(tǒng)

型號(hào)

規(guī)格

性能

機(jī)械

等級(jí)

診斷和顯示

電氣