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超薄質量流量控制器DZ-100
超薄質量流量控制器DZ-100

超薄質量流量控制器DZ-100

DZ-100 繼承了與 HORIBA STEC 的 MFC D500 相同的 CRITERION? 技術——一種用于層流粘性流動范圍的壓差檢測系統(tǒng)。這項創(chuàng)新技術可高精度控制各種氣體的質量流量。

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產品詳情

DZ-100 繼承了與 HORIBA STEC 的 MFC D500 相同的 CRITERION? 技術——一種用于層流粘性流動范圍的壓差檢測系統(tǒng)。這項創(chuàng)新技術可高精度控制各種氣體的質量流量。與 D500 一樣,用戶可配置的 DZ-100 支持多量程和多氣體應用。MFC緊湊的設計減少了內部氣體流路的內部體積,優(yōu)化的控制算法提高了響應特性。它采用具有高處理能力的緊湊型CPU,壓電驅動電路和控制CPU安裝在MFC模塊中,而電源部件則裝在一個單獨的小型控制箱中。通過使用專用的微型連接器連接它們,最多可以控制四個 MFC 模塊。

 

特征

  • 快速響應(≦0.4秒)

  • 重量輕、結構緊湊(寬度:10mm,高度:99mm)

  • 擴大工作供應壓力范圍

 

規(guī)格


模型DZ-114S
規(guī)格H大號
滿量程流量(N2換算流量)80SCCM~2.9SLM53SCCM~1.7SLM11 SCCM ~ 450 SCCM
工作入口壓力370 ~ 900 kPa (A)240 ~ 369 千帕 (A)110 ~ 239 千帕 (A)
工作壓差> 350 千帕 (D)> 240 千帕 (D)> 110kPa (D)
下游工作壓力≦ 13.3 kPa (A)≦ 53.3 kPa (A)≦ 13.3 kPa (A)≦ 53.3 kPa (A)≦ 13.3 kPa (A)≦ 53.3 kPa (A))
控制范圍1.0 ~ 100% 滿量程2.0 ~ 100% 滿量程2.0 ~ 100% 滿量程4.0 ~ 100% 滿量程5.0 ~ 100% 滿量程10 ~100% 滿量程
流量精度*1、*2

±0.5% SP (20 ~ 100% 滿量程)

±0.1% 滿量程 (1 ~ 20% 滿量程)

±0.5% SP (40 ~ 100% 滿量程)

±0.2% 滿量程 (2 ~ 40% 滿量程)

±1.0% 滿量程 (5 ~ 100% 滿量程)
偏移量/跨度穩(wěn)定性±0.5% 滿量程/年±1%滿量程/年±5%滿量程/年
重復性*1±0.3% SP
(10 ~ 100% FS)
±0.03% FS
(1 ~ 10% FS)
±0.3% SP
(20 ~ 100% FS)
±0.06% FS
(2 ~ 20% FS)
±0.3% SP
(20 ~ 100% FS)
±0.06% FS
(2 ~ 20% FS)
±0.3% SP
(40 ~ 100% FS)
±0.12% FS
(4 ~ 40% FS)
±0.3% SP
(5 ~ 100% 滿量程)
±0.3% SP
(10 ~ 100% 滿量程)
閥門類型常閉/壓電執(zhí)行器
升壓流量響應時間 *3,*4≦ 0.4 秒
閥座泄漏< 0.5% 滿量程< 1.0% 滿量程< 2.0% 滿量程
耐壓1.0兆帕(安)
泄漏完整性≦ 5.0 × 10-12 Pa m3/sec (He)
接液材料SUS316L、鎳合金、PFA、PCTFE
工作溫度15~45℃
貯存溫度0~80℃
安裝方向態(tài)度麻木
測溫精度±1°C (15~45°C)
預熱運行時間> 30 分鐘
控制接口*5DeviceNetTM協(xié)議
電源Master 1 PC, Slave (DZ-114S) 1PC : 8.2 VA (Slave 4.8 VA/PC) Up to 4 Slave can be connected

*1 流量精度和可重復性僅針對校準氣體和校準滿量程得到保證。(出口 < 13.3 kPaA)

*2 保證“精度”的溫度范圍符合 SEMI:E56-0309。

*3 穩(wěn)定時間是 MFC 輸出信號和 N2 氣體。其他詳細定義遵循 SEMI 標準 E17-1011 第 4.1.4 節(jié)的建立時間。

*4 升壓響應時間在制造校準條件下確認。實際響應時間將取決于氣體、流量和壓力。

*5 有關通信的詳細信息,請參閱“DZ-114S DeviceNet? 通信手冊”。

可滾動
模型DZ-104M
工作溫度15 ~ 45°C
貯存溫度0 ~ 80℃
安裝方向態(tài)度麻木
控制界面屏蔽型微型連接器 (M12),DeviceNetTM 協(xié)議
連接接口4 端口互鎖位置:主體底部
可滾動

DZ-104M 屏蔽型微型連接器 (M12)

密碼信號名稱規(guī)格
1個流走-
2個V+11-25 VDC,額定電壓:24V
3個V-
4個CAN_HDeviceNetTM協(xié)議
*在一系列操作中,使用額定電壓。使用符合 ODVA 的電源和電纜。

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