超薄質量流量控制器DZ-100
DZ-100 繼承了與 HORIBA STEC 的 MFC D500 相同的 CRITERION? 技術——一種用于層流粘性流動范圍的壓差檢測系統(tǒng)。這項創(chuàng)新技術可高精度控制各種氣體的質量流量。
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DZ-100 繼承了與 HORIBA STEC 的 MFC D500 相同的 CRITERION? 技術——一種用于層流粘性流動范圍的壓差檢測系統(tǒng)。這項創(chuàng)新技術可高精度控制各種氣體的質量流量。
DZ-100 繼承了與 HORIBA STEC 的 MFC D500 相同的 CRITERION? 技術——一種用于層流粘性流動范圍的壓差檢測系統(tǒng)。這項創(chuàng)新技術可高精度控制各種氣體的質量流量。與 D500 一樣,用戶可配置的 DZ-100 支持多量程和多氣體應用。MFC緊湊的設計減少了內部氣體流路的內部體積,優(yōu)化的控制算法提高了響應特性。它采用具有高處理能力的緊湊型CPU,壓電驅動電路和控制CPU安裝在MFC模塊中,而電源部件則裝在一個單獨的小型控制箱中。通過使用專用的微型連接器連接它們,最多可以控制四個 MFC 模塊。
特征
快速響應(≦0.4秒)
重量輕、結構緊湊(寬度:10mm,高度:99mm)
擴大工作供應壓力范圍
規(guī)格
模型 | DZ-114S | |||||
規(guī)格 | H | 米 | 大號 | |||
滿量程流量(N2換算流量) | 80SCCM~2.9SLM | 53SCCM~1.7SLM | 11 SCCM ~ 450 SCCM | |||
工作入口壓力 | 370 ~ 900 kPa (A) | 240 ~ 369 千帕 (A) | 110 ~ 239 千帕 (A) | |||
工作壓差 | > 350 千帕 (D) | > 240 千帕 (D) | > 110kPa (D) | |||
下游工作壓力 | ≦ 13.3 kPa (A) | ≦ 53.3 kPa (A) | ≦ 13.3 kPa (A) | ≦ 53.3 kPa (A) | ≦ 13.3 kPa (A) | ≦ 53.3 kPa (A)) |
控制范圍 | 1.0 ~ 100% 滿量程 | 2.0 ~ 100% 滿量程 | 2.0 ~ 100% 滿量程 | 4.0 ~ 100% 滿量程 | 5.0 ~ 100% 滿量程 | 10 ~100% 滿量程 |
流量精度*1、*2 | ±0.5% SP (20 ~ 100% 滿量程) ±0.1% 滿量程 (1 ~ 20% 滿量程) | ±0.5% SP (40 ~ 100% 滿量程) ±0.2% 滿量程 (2 ~ 40% 滿量程) | ±1.0% 滿量程 (5 ~ 100% 滿量程) | |||
偏移量/跨度穩(wěn)定性 | ±0.5% 滿量程/年 | ±1%滿量程/年 | ±5%滿量程/年 | |||
重復性*1 | ±0.3% SP (10 ~ 100% FS) ±0.03% FS (1 ~ 10% FS) | ±0.3% SP (20 ~ 100% FS) ±0.06% FS (2 ~ 20% FS) | ±0.3% SP (20 ~ 100% FS) ±0.06% FS (2 ~ 20% FS) | ±0.3% SP (40 ~ 100% FS) ±0.12% FS (4 ~ 40% FS) | ±0.3% SP (5 ~ 100% 滿量程) | ±0.3% SP (10 ~ 100% 滿量程) |
閥門類型 | 常閉/壓電執(zhí)行器 | |||||
升壓流量響應時間 *3,*4 | ≦ 0.4 秒 | |||||
閥座泄漏 | < 0.5% 滿量程 | < 1.0% 滿量程 | < 2.0% 滿量程 | |||
耐壓 | 1.0兆帕(安) | |||||
泄漏完整性 | ≦ 5.0 × 10-12 Pa m3/sec (He) | |||||
接液材料 | SUS316L、鎳合金、PFA、PCTFE | |||||
工作溫度 | 15~45℃ | |||||
貯存溫度 | 0~80℃ | |||||
安裝方向 | 態(tài)度麻木 | |||||
測溫精度 | ±1°C (15~45°C) | |||||
預熱運行時間 | > 30 分鐘 | |||||
控制接口*5 | DeviceNetTM協(xié)議 | |||||
電源 | Master 1 PC, Slave (DZ-114S) 1PC : 8.2 VA (Slave 4.8 VA/PC) Up to 4 Slave can be connected | |||||
*1 流量精度和可重復性僅針對校準氣體和校準滿量程得到保證。(出口 < 13.3 kPaA) *2 保證“精度”的溫度范圍符合 SEMI:E56-0309。 *3 穩(wěn)定時間是 MFC 輸出信號和 N2 氣體。其他詳細定義遵循 SEMI 標準 E17-1011 第 4.1.4 節(jié)的建立時間。 *4 升壓響應時間在制造校準條件下確認。實際響應時間將取決于氣體、流量和壓力。 *5 有關通信的詳細信息,請參閱“DZ-114S DeviceNet? 通信手冊”。 |
模型 | DZ-104M |
工作溫度 | 15 ~ 45°C |
貯存溫度 | 0 ~ 80℃ |
安裝方向 | 態(tài)度麻木 |
控制界面 | 屏蔽型微型連接器 (M12),DeviceNetTM 協(xié)議 |
連接接口 | 4 端口互鎖位置:主體底部 |
DZ-104M 屏蔽型微型連接器 (M12)
密碼 | 信號名稱 | 規(guī)格 |
1個 | 流走 | - |
2個 | V+ | 11-25 VDC,額定電壓:24V |
3個 | V- | |
4個 | CAN_H | DeviceNetTM協(xié)議 |
*在一系列操作中,使用額定電壓。使用符合 ODVA 的電源和電纜。 |
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