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日本HORIBA質(zhì)量流量模塊
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質(zhì)量流量模塊D700WR

D700WR 安裝了一個新的限流器,專為范圍廣泛的控制應(yīng)用而設(shè)計,具有基于 CRITERION? 技術(shù)的高精度性能。D700WR 可以將流量控制到滿量程的 0.1%,這有助于用戶優(yōu)化氣體輸送系統(tǒng)的靈活性。

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寬量程壓力不敏感質(zhì)量流量模塊


        D700WR 安裝了一個新的限流器,專為范圍廣泛的控制應(yīng)用而設(shè)計,具有基于 CRITERION? 技術(shù)的高精度性能。D700WR 可以將流量控制到滿量程的 0.1%,這有助于用戶優(yōu)化氣體輸送系統(tǒng)的靈活性。例如,如果系統(tǒng)安裝了多個 MFC 用于高低流量控制,用戶可以減少 MFC 的數(shù)量,并在同一位置使用另一個 MFC 來實現(xiàn)不同的目的。

 

特征

  • 0.1~100%寬范圍控制,小流量精度高 

    為流程優(yōu)化提供靈活性  

  • ≤ 500ms 升壓響應(yīng) 

    提供高生產(chǎn)率和更好的過程性能 

  • 零故障堅固的 CIP 壓力傳感器

    減少大批量生產(chǎn)中的停機時間和人工成本 

  • PFA 噴嘴使閥門關(guān)閉和耐腐蝕性能提高 10 倍 

    具有較低顆粒風(fēng)險的穩(wěn)健性可減少停機時間并優(yōu)化產(chǎn)量

  • 狀態(tài)監(jiān)控功能 

    為更智能的故障預(yù)測提供更多內(nèi)部數(shù)據(jù)  


狀態(tài)監(jiān)視功能的輸出項目

流量/壓力調(diào)零計數(shù) 

閥門驅(qū)動計數(shù) 

最大/最小P0,P1,P2壓力記錄 

最大/最小塊溫度記錄 

超過/低于壓力規(guī)格的總時間。 

超過/低于溫度規(guī)格的總時間。 

總工作時間 

總控制時間 

總流動時間(每個校準(zhǔn)實例) 

總流量(每個校準(zhǔn)實例) 



需要咨詢產(chǎn)品價格、貨期、購買產(chǎn)品、技術(shù)參數(shù)規(guī)格索取、技術(shù)及產(chǎn)品調(diào)試咨詢、商務(wù)合作請聯(lián)系我們??头峋€:022-22118860

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