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 日本HORIBA質(zhì)量流量控制器
 日本HORIBA質(zhì)量流量控制器

質(zhì)量流量控制器SEC-Z700X系列

SEC-Z700X 系列配備可靠的熱傳感器和壓力不敏感功能,可實現(xiàn)穩(wěn)定的流量控制。機(jī)載壓力測量降低了氣體輸送系統(tǒng)的成本、尺寸和復(fù)雜性。

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壓力不敏感質(zhì)量流量控制器

 

SEC-Z700X 系列配備可靠的熱傳感器和壓力不敏感功能,可實現(xiàn)穩(wěn)定的流量控制。機(jī)載壓力測量降低了氣體輸送系統(tǒng)的成本、尺寸和復(fù)雜性。


壓力不敏感
新的高性能功能提供了簡化的供氣系統(tǒng)。典型的多室氣體管路有管路調(diào)節(jié)器、壓力傳感器和過濾器,以避免壓力波動引起的質(zhì)量流量控制器串?dāng)_現(xiàn)象。SEC-Z700X 系列具有高穩(wěn)定性,可在不影響上下游壓力波動的情況下控制氣流。提供流量輸出、溫度和壓力讀數(shù)。

 

特征

  • 多氣體/多范圍功能
    氣體類型和滿量程流量可由客戶更改

  • 可變 PID 功能在整個流量范圍內(nèi)提供高速響應(yīng)(1 秒內(nèi))

  • 緊湊型氣體管線
    無需調(diào)節(jié)器、傳感器和過濾器

  • 穩(wěn)定控制氣流,不受上下游壓力波動的影響

  • 集成入口壓力傳感器

  • 板載多顯示器

  • 保修 1% Set Point 高精度

  • 超潔凈設(shè)計——金屬隔膜,全不銹鋼SUS-316L和拋光表面處理(標(biāo)準(zhǔn))。

  • 尺寸緊湊
    相同的接頭尺寸可達(dá) 50 SLM

  • 信號兼容性
    Analog/RS485 Digital Model , DeviceNet? Model

  • 網(wǎng)絡(luò)功能
    由數(shù)字信號控制。


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