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日本HORIBA CRITERION D500
日本HORIBA CRITERION D500

質(zhì)量流量模塊CRITERION D500

CRITERION D500 提供的高水平性能確保它可用于一系列先進(jìn)的半導(dǎo)體制造工藝;壓力不敏感,多范圍/多氣體/多壓力,G-LIFE(集成限流器方程的氣體定律檢查)自診斷功能,高精度,快速響應(yīng),范圍廣,全金屬。

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壓力不敏感質(zhì)量流量模塊

 

這種先進(jìn)的壓力不敏感質(zhì)量流量模塊安裝有壓差檢測和壓電執(zhí)行器閥。


CRITERION D500 提供的高水平性能確保它可用于一系列先進(jìn)的半導(dǎo)體制造工藝;壓力不敏感,多范圍/多氣體/多壓力,G-LIFE(集成限流器方程的氣體定律檢查)自診斷功能,高精度,快速響應(yīng),范圍廣,全金屬。 

 

特征

  • 壓力不敏感性
    能 新的高性能壓力不敏感功能提供了簡化的供氣系統(tǒng)

  • 多量程、多氣體、多壓力解決方案
    新功能允許用戶更改氣體類型、滿量程流量和供應(yīng)壓力范圍

  • G-LIFE(集成流量限制器方程的氣體定律檢查)自診斷功能
    先進(jìn)的過程健康監(jiān)測功能允許操作員進(jìn)行自己的測試,通常在三秒或更短的時間內(nèi)提高吞吐量

  • 高精度
    通過先進(jìn)的三維調(diào)整提高了工藝氣體的流量精度

  • 快速響應(yīng)
    響應(yīng):<0.8秒
    可實現(xiàn)精確、穩(wěn)定的流量控制 

  • 動態(tài)范圍
    寬控制范圍:0.2% FS 至 100% FS

 

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