藍寶石隔膜真空計SPG5A/6A使用說明書

非常感謝您購買藍寶石隔膜真空計　SPG5A/6A。本使用說明書中記載了安全及正確使SPG5A/6A的必要事項。

對于承擔使用SPG5A/6A的操作盤、裝置的設(shè)計、維護人員，請務(wù)必在閱讀并理解本書的基礎(chǔ)上使用。

此外，本使用說明書不只在安裝時，在維護、故障維修時也是必不可少的。請常備此手冊以供參考。

在訂購和使用產(chǎn)品前，務(wù)必請先閱讀“產(chǎn)品訂購注意事項”。

概　要

藍寶石隔膜真空計SPG5A/6A采用了藍寶石靜電容量式壓力傳感器的高精度，是具有高可靠性、小型、輕量的隔膜真空計。可選擇有自己加熱功能的機型及無自己加熱功能的機型。有自己加熱功能的機型可選擇加熱溫度。主要用于半導(dǎo)體工藝流程。本機具有以下的特長。

?感壓部材料采用具有高耐腐蝕性、高耐熱性、機械特性優(yōu)異的單晶體藍寶石，通過靜電容量檢測方式，即使在高溫檢測環(huán)境下也可實現(xiàn)高的檢測重復(fù)性。

?通過采用先進的顯微機械加工技術(shù)形成的藍寶石傳感器、實現(xiàn)了大幅度的小型、輕量化。

?采用先進的信號處理技術(shù)、實現(xiàn)了溫度特性、直線性等誤差小的檢測。

?通過采用了微處理器的數(shù)字PID運算對加熱器進行溫度控制、實現(xiàn)了迅速啟動和穩(wěn)定的溫度控制。（有自己加熱功能的機型）

?允許寬的輸入電源電壓范圍。

?可通過Auto零點調(diào)整開關(guān)或Up/Down零點調(diào)整開關(guān)簡單地實施零點調(diào)整。

?通過另售的智能編程軟件包SLP-SP5J60可簡單地進行監(jiān)視及參數(shù)的讀寫操作。

?備有3個事件繼電器，通過另售的智能編程軟件包SLP-SP5J60可簡單地對各功能的設(shè)定進行變更。

?符合IEC指令、符合CE標識。（適合規(guī)格: EN61326、 EN55011）

?可通過Auto零點調(diào)整開關(guān)或Up/Down零點調(diào)整開關(guān)簡單地實施零點調(diào)整。

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