藍(lán)寶石隔膜真空計(jì)SPG系列產(chǎn)品規(guī)格書(shū)

概　要

藍(lán)寶石隔膜真空計(jì)SPG系列采用了藍(lán)寶石靜電容量式壓力傳感器、是具有高精度、高可靠性、高耐腐蝕性的小型?輕量的隔膜真空計(jì)。主要用于半導(dǎo)體工藝流程。

特　長(zhǎng)

? 采樣高耐腐蝕性、高耐熱性的單晶體藍(lán)寶石

感壓部材料采用具有高耐腐蝕性、高耐熱性、機(jī)械特性?xún)?yōu)異的單晶體藍(lán)寶石，通過(guò)靜電容量檢測(cè)方式，即使在高溫檢測(cè)環(huán)境下也可實(shí)現(xiàn)高的檢測(cè)重復(fù)性。

? 檢測(cè)誤差小

采用先進(jìn)的信號(hào)處理技術(shù)、實(shí)現(xiàn)了溫度特性、直線(xiàn)性等誤差小的檢測(cè)。

? 小型／輕量的本體

通過(guò)采用先進(jìn)的顯微機(jī)械加工技術(shù)形成的藍(lán)寶石傳感器、實(shí)現(xiàn)了大幅度的小型／輕量化。

? 簡(jiǎn)單的零點(diǎn)調(diào)整功能

通過(guò)Auto零點(diǎn)調(diào)整開(kāi)關(guān)或Up/Down零點(diǎn)調(diào)整開(kāi)關(guān)，可簡(jiǎn)單地進(jìn)行零點(diǎn)調(diào)整。

? 機(jī)器狀態(tài)顯示

通過(guò)LED顯示，可一目了然地判斷產(chǎn)品的狀態(tài)（正常、預(yù)熱中、異常）。

? 迅速啟動(dòng)和穩(wěn)定的溫度控制

通過(guò)采用了微處理器的數(shù)字PID運(yùn)算對(duì)加熱器進(jìn)行溫度控制、實(shí)現(xiàn)了迅速啟動(dòng)和穩(wěn)定的溫度控制。

? 智能編程器軟件包對(duì)應(yīng)

智能編程器軟件包對(duì)應(yīng)（另售 SLP-SP5J70）可方便地進(jìn)行監(jiān)視和參數(shù)的讀寫(xiě)。

? 符合CE

符合IEC指令、符合CE標(biāo)識(shí)。（適合規(guī)格：EN61326、EN55011）

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